透光率测试方法，x荧光分析
选取的测量区域发现了一条宽6um，深6nm的肉眼无法观测到的划痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。
玻璃表面台阶检测
图为透明玻璃表面镀的一层金属膜，需要测膜层的厚度，由于其非透明的特性，薄膜测厚仪无法进行测量，而由于其膜层厚度精度在纳米级别，接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险，而以光学干涉原理为基础研制成的光学3D表面轮廓仪，利用软件的自动面台阶高检测功能对重建的3D图像两台阶高进行检测，从数值可知，两台阶面平均高度差为82nm，而至大高度差90nm，至小高度差为78nm。
光学3D表面轮廓仪的特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量；通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响，还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面形貌的测试精度。
