反射率光谱测量,陶瓷熔点测试
X射线反射率测试又称XRR(X-RayReflectivity)是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法,是一种纳米尺度上的分析方法,可实现无损分析。例如,通过原子层沉积(ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度,同样也适用于其他方法制备的薄膜,如通过分子层沉积(MLD)沉积的有机/无机超晶格等。
用途
百纳米内膜层厚度的jingque测量(理论精度0.05nm)以及膜层密度,界面粗糙度测定。
样品要求
样品表面平整光滑,粗糙度小于5nm
尺寸2x2cm左右,样品高度小于1cm