失效分析机构，耐火试验

失效分析机构，耐火试验

是一款多功能紧凑型机械泵磁控离子真空镀膜系统，对于FIB/SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品– 尤其用于在FIB/SEM应用中提高成像质量。
各种镀膜材质选择：
金 –常规SEM应用时使用Zui普遍的靶材；溅射速度快且导电效果zuihao。
银 –高导电性且具有高的二次电子发射率。溅射上去的银易于去除，可使样品成像后还原到其原来状态。
铂 –在机械泵抽真空的溅射镀膜系统中它的颗粒尺寸Zui小，且具有优良的二次电子发射能力。
钯 –用于x射线能谱分析非常理想，因其谱线分布冲突相对较低。
金/钯合金（80:20%） -通过限制沉积期间金颗粒的团聚，钯可提高Zui终分辨率。
碳丝蒸镀 –碳丝蒸镀过程的闪蒸特性及快速更换碳丝的能力，使其处理样品速度非常快。
碳棒蒸发 –用于需要减慢速度但可控性更好的蒸发过程，可制备更趋向无定形的碳膜。 聚焦离子束显微镜FIB FIB（聚焦离子束，Focused Ionbeam）是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。