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扫描电镜的现状

走进全国的各大高校及研究所，你会发现，目前的扫描电镜主要是被美国、日本、德国等品牌把持。例如美国的FEI，日本的Hitachi，JEOL、德国的Gemini等。而对于我国而言，我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口，每年我国花费超过1亿美元采购的几百台扫描电镜中，国产扫描电镜只占约5%—10%。那么，为何我国会在这一领域，被人卡脖子呢？到底是卡在哪里？

日本Hitachi扫描电子显微镜

如何突破？

其实，我国的扫描电镜被卡脖子，主要是有多方面的原因。我国高质量电子光学系统生产困难。扫描电镜主要由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成。其中，电子光学系统又由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。。工作时，电子枪发射出的电子束被电磁透镜汇聚成极细的电子束，在样品表面进行扫描，激发样品表面产生二次电子。二次电子由探测器收集，并被闪烁体转变成光信号。而扫描电镜的图像分辨率与电子束的直径密切相关，电子束汇聚越细，图像分辨率就越高。

光学系统牵扯诸多学科门类