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随着我国国力的不断提升，我国已经在很多领域独领风骚，但所讲的这款大国重器，却长期被国外卡脖子，核心技术被国外掌握，那就是扫描电子显微镜（SEM）。扫描电子显微镜是一种高端的电子光学仪器，它被广泛地应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业部门，被称为“微观照相机”，它可以看到微米级甚至纳米级的尺度，对科学研究和工业生产的意义重大。那么，这款仪器为何在我国被卡脖子多年呢？

科研人员利用扫描电镜做研究

要说清楚这个问题，还得先从扫描电镜的历史讲起。

扫描电镜的历史

扫描电镜，开始其实是在1932年，Knoll提出了SEM可成像放大的概念，并在1935年制成了极其原始的模型。1938年，德国的科学家阿登纳利用缩小的透镜，制成了台用于透射样品的SEM。在一段很长时间，由于扫描电镜不能获得高分辨率的样品表面电子像，一直得不到发展。

代SEM的发展

而到了1965年，英国剑桥仪器公司生产的台SEM，它用二次电子成像，分辨率达25nm，使SEM进入了实用阶段。1968年在美国芝加哥大学，Knoll成功研制了场发射电子枪，并将它应用于SEM，可获得较高分辨率的透射电子像。1970年他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进展到一个新的领域。扫描电镜的发展一直是在曲折中前进，而现代的扫描电镜已经进入到了更高的阶段，商品也有了更多的功能