包装的振动测试，轴振动试验

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 敏感元件

敏感元件时通过在氧化层上沉积多晶硅， 经过蚀刻形成的。

图 3. 5 是一个简化的敏感元件结构图。 实际传感器由 42 个这样的晶胞检测

加速度。 中间横梁由于加速度上下而移动， 引起板间电容改变， *后转换为电压

输出。

（2） ADXL150 中的增益放大运放是将敏感元件输出的信号进行放大以便测量。

（ 3） ADXL150 加速度传感器的时钟源主要为敏感元件和同步解调电路提供

100kHz 的时钟信号。

（4） 同步解调系统能够抑制除敏感元件信号外的所有信号， 能够使传感器不受

电磁干扰和无线电频率干扰。

（5） 缓冲放大器可以调节传感器的输出比例系数， 正常情况下为 38mV/g。

 ADXL150 基本电路

可以采用外接电源与地之间接 0. 1uF 去耦电容供电。 通过调节 R1b 可以增

加输出精度， 调节 RT 可改变直流偏置， 通常将 0g 时的输出调节到 2. 5v。

放大电路

ADXL150 内部已经有放大电路、 滤波电路和缓冲输出电路， 但其输出的

信号的幅值仍然很小， 不利于后级电路处理和 A/D 转换。 在 ADXL150 输出端

连接了放大电路。 放大电路中使用一片 LM358AN。 具体电路如图 3. 7 所示。

图中 V 1 为 ADXL150 的V 1 信号输出端口。 LM358AN 为反相放大器， 电路

中 R1=91K、 R4=4.7K 此 电 路为 经典反相 放大电 路， 其增 益系 数为

R1/R4=19.4。LM358AN 构成了一个放大倍数为 19.4 倍的反相放大电路， 将 ADXL150

的输出端口的信号放大并反相， 使波形与 ADXL150 原始输出方向相同。