一、说明
111 温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level 3 ）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（ GeneralTests and Comprehensive Tests），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。
二、测试仪器：
111 常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的相同，温度测量范围是 0-100℃ ， ±0.2 ℃ 。湿度测量范围是 10 ％ 到 95 ％ ，±2 ％ 。一般测量要求温度之显示值可显示 0.1 ℃的变化，湿度的显示值可显示 1 ％ 的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示 0.05 ℃ 的变化，湿的显示值可显示 0.1 ％的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。
三、测试程序：
1111.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。
1112. 依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转 24小时以上。
1113. 测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个 Dry Coil的控制范围要量一点，测量高度为 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。
1114. 将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。
