光刻机制冷机组的种类有很多，各有各的特点，用户需要根据使用需求选择适合的光刻机制冷机组。那么到底有哪些光刻机制冷机组呢？
1、根据机型构造光刻机制冷机组根据冷却方式的差异，也被分成了风冷式和水冷式。
2、冷却介质有盐水，乙二醇等等,也可以根据冷却介质的不同进行分类。
3、光刻机制冷机组的压缩机为活塞式、离心式,、涡旋式、螺杆式，我们也可以根据光刻机制冷机组压缩机对其进行分类。此外，光刻机制冷机组的蒸发器也有很多类型，也可以根据蒸发器类型差异对其进行划分。根据出水温度又或是制冷原理的不同，又被分成了吸收式和压缩式。
4、在更换的时候，需要先取下连接压缩机排气管和吸气管的连接管道，由于连接冷凝器和管道距离较近，不容易从管口中取出，因此应先取下连接压缩机排气管和吸气管的管道。
5、安装四通阀阀体的时候，可以使用焊枪加热连接四通间根部3根管道的管口，使表面剩余焊料充分熔化、流动直至掉下，使管口表面光滑，这样能顺利插入至四通阀管口。因焊接时难点在于根部的3个管道，可将连接压缩机排气管的管道扳到一边，待焊接3个管口后再焊接连接压缩机排气管的管口。
6、由于四通间中间管道难焊接，应首先焊接中间管道，再焊接两侧管道，接着焊接连接压缩机排气管的管道，安装和焊接接连压缩机排气管管口之后，四个接口焊接完成啦
7、安装完光刻机制冷机组的四通阀之后，需要注意制冷系统的捡漏工作，捡漏结束再投入使用。