光刻机用低温冷水机组多运用于各个行业之中，很多行业都需要购买光刻机来进行作业，这也涉及到光刻机用低温冷水机组的日常维护。
1、光刻机用低温冷水机组组冷却系统的基本部件有：冷凝器、受液器、干燥过滤器、蒸发器、热膨胀阀等等。
2、光刻机用低温冷水机组组是将常温的水通过冷水机的压缩机制冷到温度以强化冷却模具或机器，作为单机使用，散热装置为内置之风扇，主要有三个相互联系的系统：制冷剂循环系统、水循环系统、电器自控系统。
3、光刻机用低温冷水机组蒸发器中的液态制冷剂吸收水中的热量并开始蒸发，终制冷剂与水之间形成温度差，液态制冷剂亦蒸发变为气态，后被压缩机吸入并压缩（压力和温度增加）,气态制冷剂通过冷凝器释放热量，凝结成液体。通过膨胀阀（或毛细管）节流后变成低温低压制冷剂进入蒸发器，完成制冷剂循环过程。
4、定期清洗冷凝器、蒸发器，使整机保持良好运转；保持光刻机用低温冷水机组冷却塔清洁干净，定期清洗，冷却塔内不得有杂物及其它障碍物，以免造成伤害。
5、光刻机用低温冷水机组的冷冻水泵不可在水箱内无水运转；操作开关请尽理避免连续切换。
6、水温达到设定温度时，压缩机会自动停止运行，此属正常现象；温度开关应避免设定在5℃以下，防止蒸发器结冰。