废气净化设备利用高频高压静电的特殊脉冲放电方式（发射装置每秒钟发射上千亿个高能离子），产生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之间的一种过渡态氧），迅速与污染物分子碰撞，激活有机分子，并直接将其破坏；或者高能活性氧激活空气中的氧分子产生二次活性氧，与有机分子发生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在极短的时间内达到很高的处理效率。
由于上述过程是在常温下进行的，因此也称为“低温燃烧”过程，包括了许多种技术和作用，如过氧化氢、·OOH的催化作用和紫外线作用，这是一个极端复杂的物理过程，产生O2、O2-、O2+、·OH、·H02、·O、O等氧簇聚集体，由于具有极强的氧化能力，因此我们称其为“活性氧”。
根据实验结果，并结合国外采用氧化法处理恶臭的资料，基本确定AOE设备处理各种恶臭组分的机理和主要产物。恶臭污染物中主要含有的气相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（挥发性有机化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途径有两条：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。
其反应机理为：
H2S+ O2、O2-、O2+ → SO3 + H2O
NH3 +O2、O2-、O2+ → NOx + H2O
VOCs +O2、O2-、O2+→ SO3 +CO2+ H2O
2、利用特制的高能UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体的分子键，降解转变为低分子化学物，如二氧化碳和水等物质。
3、利用高能臭氧分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物。如CO2、H2O等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
4、高效除恶臭：能高效去除挥发性有机物（VOC）及各种恶臭味，脱臭效率超高可达99%以上。
5、无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力。
6、适应性强：可适应高浓度，大气量，可每天24小时连续工作，运行稳定可靠。
