半导体chiller冰水机DRM-高精度水冷机维修

ATS半导体冷水机Chiller调试需严格遵循环境控制、参数分级设定、安全防护及周期性维护原则。

ATS半导体冷水机Chiller调试前准备

环境与安装检查

环境温度：确保设备周围温度在5℃~40℃之间，避免阳光直射或高温环境。

通风条件：冷凝器散热区域需预留≥50cm空间，防止散热不良导致高压保护。

电源验证：检查电压稳定性，接地电阻≤4Ω，避免电压波动损坏压缩机。

介质与管路管理

载冷剂选择：使用去离子水或专用防冻液（如乙二醇水溶液），避免杂质堵塞管路。

管路密封性：通过氦质谱检漏仪检测接口泄漏率，确保系统真空度。

ATS半导体冷水机Chiller启动阶段调试

开机顺序控制

标准流程：冷却塔风机→冷却水泵→冷水泵→Chiller主机，避免冷媒过载。

延迟关机：停机前30分钟关闭制冷系统，继续运行循环泵带走余热，防止蒸发器结冰。

参数初始设定

温度设定：根据工艺需求分阶段调整。

流量匹配：通过变频泵调节流量至设计值，避免过载或低压报警。

ATS半导体冷水机Chiller运行参数监控

核心指标监测

温度波动：蒸发器进出口温差应≤3℃，冷凝器温差≤5℃，超出范围需检查冷媒充注量。

压力安全：

蒸发压力：对应蒸发温度-5℃至-10℃

冷凝压力：水冷式≤1.6MPa，风冷式≤2.5MPa。

异常处理流程

高压报警：优先检查冷却水流量及过滤器堵塞情况，清理冷凝器翅片。

低压报警：排查膨胀阀开度及冷媒泄漏点，使用卤素检漏仪定位。