无锡SEM电镜分析测试 宏观微观形貌分析

扫描电子显微镜（SEM）是进行表面微观形貌分析的重要工具，以下是关于 SEM 电镜分析测试的相关内容：

工作原理

SEM 利用电子枪产生高能量的电子束，电子束经过电磁透镜聚焦形成直径极小的电子探针，扫描样品表面。

电子探针与样品相互作用产生二次电子、背散射电子、特征 X 射线等信号。其中二次电子对样品表面形貌敏感，是获取高分辨率表面形貌图像的主要信号；背散射电子与样品原子的质量和原子序数相关，可用于分析成分分布等；特征 X 射线用于元素定性和定量分析。

探测器收集信号并转换为电信号，经放大处理后在显示器上以图像形式呈现。

测试项目

表面形貌观察：可清晰观察到样品表面的晶粒尺寸、晶界形态、表面粗糙度、孔洞和裂纹等细节。

成分分析：通过能谱仪（EDS）或波谱仪（WDS）对特征 X 射线分析，确定样品中元素的种类和相对含量。

晶体结构分析：借助电子背散射衍射（EBSD）技术，分析样品的晶体取向、晶界类型和织构等晶体学信息。

样品要求

尺寸：块状样品边长一般在 1-2cm 以内，厚度不超过 1cm；粉末样品需分散固定在样品台上。

导电性：非导电样品通常要进行表面导电处理，如蒸镀金属薄膜或碳涂层。

稳定性：样品在测试中应保持化学和物理稳定性，不发生反应、分解、变形或挥发等。

测试步骤

样品制备：根据样品类型和测试要求，进行切割、研磨、抛光、腐蚀、导电处理等。

仪器调试：对电子枪、电磁透镜、探测器等关键部件进行参数设置和校准，选择合适的成像模式和分析方法。

图像采集与分析：在低放大倍数下初步观察，确定感兴趣区域，再提高放大倍数进行高分辨率图像采集，可利用附件进行成分分析和晶体结构分析，记录保存数据。

应用领域

材料科学：观察金属材料微观组织结构，分析晶界特性和杂质分布；表征纳米材料的尺寸、形状、团聚状态等。

生命科学：观察细胞表面形态、细胞器结构和分布，分析生物材料表面形貌与生物相容性的关系。

地质学：观察岩石和矿物的微观结构、成分分布和晶体取向，研究岩石成因、演化和变质过程。