超纯氮气中的氧含量检测是确保其纯度的重要环节之一。对于超纯氮气而言，氧含量的要求非常高，通常技术要求氧（O2）体积分数应不超过0.1ppm（百万分之一体积比）。 为了达到这样的检测要求，可以使用以下几种方法：
电化学法 ：这是一种直接检测高纯氮气中微量氧气浓度的方法。根据GB/T 62852016标准，电化学传感器能够 地测定氮气中的氧气含量，从而评估氮气的纯度。
2. 氧化锆检测器气相色谱法 ：这种检测方法也是用于测量超纯氮气中微量氧气的一种方式，适用于那些需要更详尽分析的应用场景。在实际应用中，可能还会涉及到其他气体成分如氩、氢、 等的检测，这些同样有相应国家标准规定。例如，纯氮、高纯氮和超纯氮的质量检测会参考GB/T 8979 2008标准。在进行超纯氮气的氧含量检测时，应当遵循相关的国家标准和行业规范，使用符合要求的检测设备和技术手段，以确保检测结果的准确性和可靠性。