透光率测试标准，tem元素分析
数字全息显微镜通过CCD相机拍摄记录含有被观测样品表面形貌波前信息的全息图，再通过电脑从记录的每一帧全息图中实时解析重建提取出三维形貌。整个过程无需扫描，可以通过高速CCD相机配合电脑运算实时呈现样品表面二维、三维、四维形貌以及振动，称为四维动态形貌测试。数字全息显微镜精度高、速度快、测量结果稳定可靠、重复性好，在四维动态形貌和振动测试方面有着的优势，它还可以测量三维静态形貌以及作为其他形貌或振动测量技术的比对。
设备性能指标：
1、非接触光学无损测量，可记录样品的二维、三维、四维形貌；
2、静态垂直分辨率0.30nm；
3、MEMS振动四维测试，频率可达25MHz，无需扫描，测量面内和面外振动，面内振动小可测1nm，面外振动小可测0.5pm；
4、配有数据采集分析软件，供在线分析或试验后分析；
