热变形测试,表面电阻测试方法
表面电阻率的单位表达为欧姆,以区别于测量出的电阻(V/I)。对于极薄或极厚的样品,可能需要使用修正因数对电阻率的计算进行修正。
3、van derPauw范德堡测量法
范德堡van derPauw电阻率测量法主要用于半导体工业,也可用于其它一些应用工作,例如:用来确定超导体或其它薄片材料的电阻率。van derPauw法用于扁平、厚度均匀、任意形状,而不含有任何隔离孔的样品材料。如图3所示,接触点应当很小,并且安放在样品的外围。
围绕样品进行8次测量。对这些读数进行数学组合来决定样品的平均电阻率。有关van derPauw法的更的信息可以在ASTM标准F76中找到。