点自动对焦3D形状高精度测量机
● 更新设计的MLP系列产品是搭载有高速旋转载台及自动对焦功能的标准机型。
●具有3D测量和评估功能,可以无损无破坏的测量多种产品的形状、表面形貌、表面粗糙度、轮廓/尺寸评估、齿轮测量(选配)、刀具刃口评价(选配)
● 高精度的大测量范围。
点自动对焦3D形状高精度测量机
移动范围(X,Y,Z,AF(R),AZ(θ))
X:60 x Y:60 x Z:60mm
AF(R) 40mm
AZ(θ)360
X-Y 轴分辨率——0.1um
Z 轴分辨率——0.1um
R 轴分辨率——0.01um
激光点直径——1um
激光——半导体激光(o/p:1mWMax. λ=635nm)