低电阻率测量,薄膜电压击穿测试
优缺点及适用性比较
红外检测器法的试验步骤相对简单, 只需要使用参考膜进行仪器校正,并通载气测零点漂移值就可进行正常检测。而电解传感器法的测试过程相对复杂,需要将盛有合适浓度的硫酸溶液或蒸馏水或饱和盐溶液等介质的多孔排放到渗透腔的湿腔中, 用来形成恒定的湿度环境,试验过程中需要使用大量载气, 还需要向电解池施加直流电压, 使其一直保持通电状态。
从成本上说, 2 种方法都需要使用干燥的载气。红外检测器法只需要对参考膜进行校正,而电解传感器法则需要合适浓度的溶液提供合适的湿度环境, 并且需要电解池通电, 检测成本明显高于红外检测法。从jingque性角度上说,红外检测法的步骤比电解传感器法少, 降低了产生误差的可能性, 红外检测法的性更高。
目前, 通常使用基于红外检测器法的国家标准对试样的水蒸气透过率进行检测。