美国能源研究学会在一份说明中解释说:“氦气是一种惰性气体,很难和其他成分起反应,这让其成为半导体制造中很理想的材料。在硅片周遭裹上惰性气体,可以避免出现意料之外的反应。另外,由于氦气具有高导热性,它还能高效散热,这可以在半导体制造过程中降低硅片的温度,能让半导体的体积变得更小。
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