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样品电流(SpecimenCurrent)：电子束射到样品上时，一部份产生二次电子及背向散射电子，另一部份则留在样品里，当样品接地时即产生样品电流。
36.电子侦测器有两种，一种是闪烁计数器侦测器(Scintillator)，常用于侦测能量较低的二次电子，另一种是固态侦测器(solidstate detector)，则用于侦测能量较高的反射电子。
37. 影响电子显微镜影像品质的因素:
A. 电子枪的种类:使用场发射、LaB6或钨丝的电子枪。
B. 电磁透镜的完美度。
C. 电磁透镜的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens
D. 样品室的洁净度: 避免粉尘、水气、油气等污染。
E. 操作条件: 加速电压、工作电流、仪器调整、样品处理、真空度。
F. 环境因素: 振动、磁场、噪音、接地。
38. 如何做好SEM的影像，一般由样品的种类和所要的结果来决定观察条件，调整适当的加速电压、工作距离(WD)、适当的样品倾斜，选择适当的侦测器、调整合适的电子束电流。
39.一般来说，加速电压提高，电子束波长越短，理论上，只考虑电子束直径的大小，加速电压愈大，可得到愈小的聚焦电子束，因而提高分辨率，然而提高加速电压却有一些不可忽视的缺点：
A. 无法看到样品表面的微细结构。
B. 会出现不寻常的边缘效应。
C. 电荷累积的可能性增高。
D. 样品损伤的可能性增高。
因此适当的加速电压调整，才可获得清晰的影像。
40.适当的工作距离的选择，可以得到好的影像。较短的工作距离，电子讯号接收较佳，可以得到较高的分辨率，但是景深缩短。较长的工作距离，分辨率较差，但是影像景深较长，表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。
41.SEM样品若为金属或导电性良好，则表面不需任何处理，可直接观察。若为非导体，则需镀上一层金属膜或碳膜协助样品导电，膜层应均匀无明显特征，以避免干扰样品表面。金属膜较碳膜容易镀，适用于SEM影像观察，通常为Au或Au-Pd合金或Pt。而碳膜较适于X光微区分析，主要是因为碳的原子序低，可以减少X光吸收。
42. SEM样品制备一般原则为:
A. 显露出所欲分析的位置。
B. 表面导电性良好，需能排除电荷。
C. 不得有松动的粉末或碎屑(以避免抽真空时粉末飞扬污染镜柱体)。
D. 需耐热，不得有熔融蒸发的现象。
E. 不能含液状或胶状物质，以免挥发。
F. 非导体表面需镀金(影像观察)或镀碳(成份分析)。
