机械零件断裂失效分析，金属高温试验
在所分析的斑点表面处，可见一个外来颗粒，二次电子图像显示该颗粒高度要高于周围表面，但背散射电子图像衬度无法提供足够的成分信息，也就无法判断该颗粒是否为未知物质。
*图5 缺陷区域二次电子像（上图）中可见一颗粒高出表面，为外来颗粒。背散射电子像（下图）展示其成分衬度（加速电压15keV,束流0.44 nA）
凭借AxiaChemiSEMZXJS，在采集SEM图像的可以获得感兴趣区域的元素定量信息，只需一键点击便可在感兴趣图像（二次电子或者背散射电子均可）上叠加显示元素定量信息。
*图6 所示区域的ChemiSEM图像
（加速电压15 keV 束流0.44 nA 采集时间60 s）