在金属分析领域中，辉光放电分析是浓度分析和表面分析理想的手段。表面处理工艺过程，如表面渗碳硬化或渗碳热处理等，都可以通过分析被处理材料的表面和近表层区域实现质量控制。采用浓度分布分析功能可以确地测量涂（镀）层厚度及化学成分。
检测材料
一、贵金属
金（3N,4N,4N5）、银（3N,3N5,4N）、铂（3N,3N5,4N）、钯（3N,3N5,4N）、铑（3N,3N5,4N）铱3N,3N5,4N）、钌（3N,3N5）
二、有色金属
钨条（3N,4N）、钽粉、铌条、铟（3N,4N）、钼条、镓（3N,4N,5N,6N）
三、其他高纯物质
石墨、碳、硅、碳化硅、陶瓷、锗、三氧化二铝、高纯二氧化锗锗（5N,6N）
高纯四氯化锗（5N,6N）
能谱扫描
原理：当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而有一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。
利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。能谱（EDS）是微区成分分析的主要手段之一。通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。EDS的能量分辨率：～130eV。
检测目的：成分测试
检测范围：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；
2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；
3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；
4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；
5、进行材料表芒区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
