蚀刻机水冷机Chiller发生故障就需要及时解决，假如发现蚀刻机水冷机Chiller跑油了，基本上是和它的结构有着很大的关系。
在市面上有一些蚀刻机水冷机Chiller是这样制造的，便是原本冷冻油与冷冻剂是混合的，因为冷冻油和冷冻剂它们的密度不一样，也便是重量不同，这时分就能够采用油别离器把机组冷冻油与制冷剂别离，然后再使制冷剂通过满液式蒸发器回到压缩机，这种新式的制冷效果相当的不错，那蚀刻机水冷机Chiller为什么会呈现跑油呢？
1、当冷却水温偏低的时分，开机过热度不高，然后因为制冷剂别离不完全，就会呈现冷冻油和制冷剂的混合物，他们一同进入热交换器，就会使得知足低压偏低乃至严重的状况还会导致膨胀阀堵塞，这样蚀刻机水冷机Chiller就发动不起来了。
2、那这时分应该怎么办呢？假如发现有分类油位在降低，应该马大将机组调到手动控制形式，这样就对压缩机约束负荷能够将其能量约束了上，使冷凝压力提高将机组的低压报警值一向降到允许范围内，这样做就能够尽量保证机组处于不会停机的状况，仍旧能够发动的。
3、再进行了以上操作，发现蚀刻机水冷机Chiller油位还是很低，而且蒸发器压力也很低，就需要考虑油是不是全都跑到蒸发器内了，这时就需要能够在蒸发器是液晶里面看看是不是有大量白色泡沫在翻滚，有的话就说明油在蒸发器内。