蚀刻机的蚀刻液冷却装置的工作原理是蒸气压缩式制冷，即利用液态制冷剂汽化时吸热，蒸汽凝结时放热的原理进行制冷的，主要有四大部件组成，分别是压缩机、冷凝器、蒸发器、节流阀。
1、蚀刻机的蚀刻液冷却装置是指用压缩机改变冷媒气体的压力变化来达到低温制冷的机械设备。所采用的压缩机，因其使用条件和压缩工作介质的不同，它又不同于一般的空气压缩机。按冷冻机结构和工作原理上的差别，它与空气压缩机类似，也可分为活塞式、螺杆式、离心式等几种不同形式。
2、在设备的蒸发器中要放入制冷剂进行吸热蒸发，这就可以吸收冷却对象的热量，制冷剂蒸发后的的蒸汽就进入压缩机并进行压缩，通过冷凝器，将压缩后的高温高压制冷剂蒸汽进行降温，变成了制冷剂液体，在流入低压蒸发器中进行蒸发，当然这个过程中就需要节流阀进行节流降压，达到所需的制冷量以及制冷效果，让制冷剂在合理的工作环境下进行无限循环的制冷。
3、对于制冷系统来说在制冷过程中都会出现结霜的现象，没有霜也不能进行制冷，这里理解中的霜，仅仅是薄霜，通过薄霜可以对机体内的制冷有传导作用，可以对存储物品进行冷冻以及冷藏。如果当蚀刻机的蚀刻液冷却装置内的霜变厚后甚至把整个蒸发器都包住后，那就会严重影响整个蒸发器的传热能力，让整个机体的温度下降不下来。