不论是那种工业设备，在应用全过程上都需要开展维修保养，不然，有时会造成半导体高低温热流仪发生一些小问题或是是减少它的使用期限。
1、温度范围
选择半导体高低温热流仪时，应该考虑到工厂对制取温度的要求。制取温度的高低对半导体高低温热流仪的选型和系统组成有着为重要的实际意义。
2、制冷和单机制冷量
半导体高低温热流仪制冷量的大小直接关系到整个机组的能量消耗和运行效果，这是值得重视的，这主要是考虑到当一台半导体高低温热流仪发生故障或停机检修时，不致停产，而应结合生产情况，选定合理的机组台数。
3、能量消耗
特别是选用大型半导体高低温热流仪时，应当考虑到能量的综合利用，因为大型半导体高低温热流仪时一种消耗能量较大的设备。
4、振动
半导体高低温热流仪运行时都会产生振动，只是频率与振幅大小因机组类型不同相差较大。如果有防振要求时，应选用振幅较小的半导体高低温热流仪，或对半导体高低温热流仪的基础与管道进行减振处理。
5、冷凝压力：
冷凝压力就是制冷剂在冷凝器内气体冷凝成液体的压力，由于反应釜低温冷冻机单机自复叠系统中冷凝器内部的压力无法测量，而实际上，制冷剂在排气管以及冷凝器内的压力降其实很小，不管设计调试还是检修当中，一般认为排气压力近似等于冷凝压力。