检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。吸与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。
检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，气密性检测装置，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
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