1.保持环境有一定的湿度。实践证明,车间净化工程哪家好,北方地区或在干燥的冬季,因静电产生故障的事例要远远大于在东南沿海地区或其他季节,所以在一些重要场所,如实验室、电子仪器的装调车间应考虑保持一定湿度的问题,特别是对那些封闭形的空调房间,车间净化工程安装,更应有一定控制湿度的设备。
2.工作人员应穿防静电安全防护服
3.半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中,这种防静电盛放器有良好导电性能,能有效防止静电的产生。
4.对于操作人员应在手腕上带防静电手带,这种手带应有良好的接地性能,车间净化工程装修,这种措施为有效。
6.铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品,车间净化工程,能十分有效抑制由人的行走所产生得静电。
洗净室、品质检查室净化级别为7级,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求,需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为:新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。
除CP室外的洁净室所需新风采用2台新风机组(MAU-1、2)集中处理,新风集中处理后送至各循环机组(AHU)。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组(AHU)。
洁净室操作人员的动作应轻缓、平稳,应尽量避免不必要的动作,特别是快速走动等下肢动作更应避免,这样才能减少洁净室的产尘量。选择洁净服因材质及式样不同,产尘量有很大的区别。应选连体式、致密尼龙稠洁净服,这种洁净服比其它几种洁净服的产尘量要少。洁净室设计采用环氧树脂自流平涂地面、金属彩钢壁板比采用其它几种建筑材料产生的尘埃数少。
因此,从人员控制、厂房设计两方面考虑,可以降低洁净室中尘埃粒子的数量。
除上述控制污染源、减少污染发生量来防止微粒污染洁净室,空气净化处理的方法如控制室内的压力,可以有效阻止室外污染室内或防止室内污染逸出室外。并用合理的气流组织有效排除室内发生的污染。这几种途径又均与净化系统的风量( 风速 ) 或换气次数有关。洁净室是一个对换气次数、静压差、温度、湿度、照度等都有要求的综合体。
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