在无尘车间中,由于静电的不良影响,会导致微粒污染,静电放电(ESD)以及设备故障等问题。现代的过滤技术可以防止绝大部分的外部粉尘进入洁净室。但是,在洁净室内部,粉尘依然会在工作人员,生产设备以及部分生产过程中产生。令人遗憾的是,通常这些粉尘源都会比较靠近产品。如果物体表面带了静电,由于静电吸引就会吸附在洁净室层流中传播的粉尘。亚微米级的尘粒会影响到高科技产品的质量,它们一旦被吸附,产品表面就很难清除。
静电放电也会产生电磁干扰(EMI)现象。这将会妨碍到产品设备(特别是基于微处理器的机器人技术)的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电,也可能会影响到附近其他设备的运转,这样就很难找出问题出在什么地方。一个的污染控制流程,必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型,将其测量和处理纳入其中。
洁净实验室工程设计要求
1、本布置紧凑、合理,满足了实验室操作和空气洁净度等级要求,同时力求科学性与经济性的原则,考虑实验室要求和发展及运行费用蕞优。
2、洁净室入口处设置风淋室,能有效清除人体所带灰尘,减少洁净室的灰尘量,同时风淋室也起到了气闸的作用,防止不洁净空气由门进入洁净区。
3、洁净室需向室内的供给一定比例的新鲜空气,净化过滤后进入各实验室以补偿排风,洁净风淋室厂家,保证正压及工作人员需要。
4、一般室内送排风采用上送下排方式,室内排风口应设在室内被污染风险蕞高的区域,单侧布置,不得有障碍。
5、风量回风次数采用风量调节阀对不同要求洁净级别的区域进行控制,以及压强梯度的调节,洁净风淋室,保证气流同“清洁”区域流向“污染”区域,洁净室不同级别之间压差为≥5pa,洁净室与室外压差为≥10pa.
6、洁净室设紫处灯杀菌装置。传递窗为全不锈钢材质,机械联锁控制,内带灭菌装置。
7、观察窗为密闭洁净窗,门为气密洁净门。
8、电源:AC220V/380V-50HZ。室内噪音≤60db(A)。
9、排风口装有过滤器,送风口装有过滤静压箱,以实现进气洁净,另外更换过滤器比较方便。
1、洁净室应进行专门设计,其主体建筑应为一、二级耐火等级;吊顶、分隔墙等构配件及保温、隔热、装饰材料,应尽量采用不燃材料或经过防火处理的材料。
2、洁净厂房的排风系统。应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处,必须设置防火阀。
3、有、物品的无尘室、电气要符合防爆要求;电气敷设和安装要从严要求,暗敷的电线当中不得有接头。对电气设备要经常维修,用后及时切断电源。对需要长开的电气设备,下班后应有专人巡逻检查。
4、为防止起火和燃烧,便利疏散与抢救,对防火墙间蕞大允许占地面积和防火分隔以及疏散路线等,一般应比其他建筑有更高的要求。出入口或拐弯处应有紧急照明灯。
5、其他建筑改建为洁净室的,也应进行专门设计,并经消防部门审核。一般不得破坏原来的防火分隔,新用的保温、隔热、分隔等材料及装饰材料尽量不要采用可燃材料,洁净风淋室生产厂家,如要使用的,应经过防火处理。
6、无尘车间内不得使用明火加热,采用电加热的必须密闭,洁净风淋室哪家好,并严格控制加热温度。各种加热装置均应安装在不燃基座上。
7、使用液体和气体的无尘室,应安装排风设备,操作台应有独立的排风装置。液体蒸气和气体的尾气管应与排风系统分开。
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